特許
J-GLOBAL ID：200903080624673980
固体撮像装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-047390
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251674
出願日： 1992年03月05日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 CCDオンチップカラーフィルタの平坦化膜をより平坦にすると共に、薄膜化を図る。【構成】 CCDデバイスのAl遮光膜7上にP-SiO2膜8をデバイス保護膜として形成した後、アクリル系共重合体(ジグラム溶液/対固形分30wt%)をコーティングし、120°C前後でリフローし、次に、200°C前後の温度でベークする。これにより、薄い平坦な平坦化膜20が形成でき、オンチップレンズとセンサ部との距離の最適化が図れ、固体撮像装置の感度を高めることができる。
請求項（抜粋）：
遮光膜に形成した開口より光学的に露呈するセンサ部を有し、全面に形成される平坦化膜を介してカラーフィルタが配設され、該カラーフィルタ上方にオンチップレンズが形成されてなる固体撮像装置において、前記平坦化膜がアクリル系共重合体の樹脂をコーティング処理及びリフロー処理した膜で成ることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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