特許

J-GLOBAL ID：200903080638654066

プラズマ反応器及び空気浄化装置

発明者： 田中 利夫 ,  香川 謙吉 ,  茂木 完治
出願人/特許権者： ダイキン工業株式会社
代理人 (1件)： 前田 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-158028
公開番号（公開出願番号）：特開2002-346376
出願日： 2001年05月28日
公開日（公表日）： 2002年12月03日
要約：

【要約】【課題】 ストリーマ放電により低温プラズマを生成してガス処理などを行うプラズマ反応器において、複数のストリーマ放電領域(S) 同士の間の無駄な隙間を小さくして処理効率を高める。【解決手段】 互いに対向して配置される第1電極(21)及び第2電極のうち、第1電極(21)に電極端(21a) を複数列に配列する。隣り合う各列(L1,L2,L3・・・) の電極端(21a) を各列(L1,L2,L3・・・) に直交する線(C1,C2) 上からずらして配置することによって、各電極端(21a) について形成される複数の放電領域(S) 同士の隙間を小さくする。

請求項（抜粋）：

互いに対向して配置された第1電極(21)及び第2電極(22)と、両電極(21,22) に放電電圧を印加するように接続された電源手段(24)とを備えるとともに、第1電極(21)が第2電極(22)に対向する複数の電極端(21a) を有し、両電極(21,22) が被処理流体の流通空間に配置され、両電極(21,22) 間で発生するストリーマ放電により被処理流体を処理するプラズマ反応器であって、上記電極端(21a) が複数列に配列されるとともに、各列(L1,L2,L3・・・) の電極端(21a) は、隣接する列(L1,L2,L3・・・) の電極端(21a) に対して各列(L1,L2,L3・・・) の直交方向から偏倚した位置に配置されていることを特徴とするプラズマ反応器。

IPC (5件)：

B01J 19/08 ,  A61L 9/00 ,  A61L 9/22 ,  B01D 53/32 ,  H05H 1/48

FI (5件)：

B01J 19/08 E ,  A61L 9/00 C ,  A61L 9/22 ,  B01D 53/32 ,  H05H 1/48

Fターム (21件)：

4C080AA09 ,  4C080BB02 ,  4C080CC01 ,  4C080QQ11 ,  4G075AA03 ,  4G075AA37 ,  4G075AA42 ,  4G075BA05 ,  4G075BB04 ,  4G075BD12 ,  4G075CA15 ,  4G075CA47 ,  4G075CA54 ,  4G075CA80 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EB41 ,  4G075EC21 ,  4G075EE01 ,  4G075EE31 ,  4G075FB02