特許
J-GLOBAL ID：200903080640356897
半導体圧力検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-163057
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003211
出願日： 1992年06月22日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】この発明は、リードを設定したステム部を省略して簡易化して構成できるようにした半導体圧力検出装置を提供することを目的とする。【構成】歪みゲージを備えた半導体圧力センサチップ11は、このセンサチップ11と線膨脹係数の近似したガラス材料で構成された第1の台座12に接合される。この第1の台座12は、例えば42アロイによって構成した第2の台座13に接合設定されるもので、この第2の台座13は樹脂ケース14に接合支持される。樹脂ケース14には圧力導入口17が形成されるもので、この圧力導入口17は第2の台座13、第1の台座12に同軸的に形成した開口を介して圧力センサチップ11の圧力感知部に連通される。樹脂ケース14は、圧力センサチップ11部を密封構造としているもので、この圧力センサチップ11にボンディングワイヤ16を介して電気的に接続されるリード15をインサート成形している。
請求項（抜粋）：
半導体基板によって構成された圧力センサチップと、この圧力センサチップの圧力検出部位に連通する圧力伝達用の開口を有して前記圧力センサチップが一体的に接合され、この圧力センサチップを構成する半導体基板と近似の線膨張係数を有する材料によって構成した第1の台座と、この第1の台座が接合され、この第1の台座に形成された前記開口と同軸的な開口が形成された第2の台座と、この第2の台座に形成された前記開口に同軸的にした圧力導入口を有し、この第2の台座が接合設定される樹脂材料によって構成された樹脂ケースとを具備し、前記第2の台座と樹脂ケースとの接合面の最短リーク長が、前記第1の台座と第2の台座との接合面の最短リーク長よりも長く設定されるようにしたことを特徴とする半導体圧力検出装置。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, H01L 29/84
