特許

J-GLOBAL ID：200903080642525858

クリーンルーム設備のガス除去装置

発明者： 花渕 温子 ,  平田 順太
出願人/特許権者： 日立プラント建設株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-017113
公開番号（公開出願番号）：特開2004-223477
出願日： 2003年01月27日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：

【課題】外気中に含まれる有害ガス及びクリーンルームで発生した有害ガスを確実に除去できるクリーンルーム設備のガス除去装置を提供する。【解決手段】本発明の有害ガス除去装置50は、外調機14から供給される空調エアも、クリーンルーム建屋16内で循環する循環エアも通過するクリーンルーム12の床下空間部42に配置されている。この有害ガス除去装置50によれば、床下空間部42に吸引された空気が水接触エレメント60を通過することによって、その空気中に含まれる有害ガスが加湿され、更に水との気液接触によって有害ガスが除去される。そして、加湿された空気が冷却コイル62によって冷却されることにより水分に凝縮され、この凝縮水中に有害ガス成分を取り込むことにより空気から有害ガスを完全に除去する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ファンフィルタユニットによって除塵された空気をクリーンルームに供給し、該空気をクリーンルームの多孔床を介して床下空間部に吸引するとともに、該吸引した空気を前記ファンフィルタユニットを介して再びクリーンルームに供給するクリーンルーム設備において、 前記床下空間部の空気流路上流側に、有害ガス含有の前記気体を加湿する水接触エレメントが設置されるとともに、前記空気流路の下流側に、前記水接触エレメントによって加湿された気体を冷却することにより水分を凝縮させる凝縮手段が設置されたことを特徴とするクリーンルーム設備のガス除去装置。

IPC (4件)：

B01D53/18 ,  B01D53/26 ,  F24F3/14 ,  F24F7/06

FI (4件)：

B01D53/18 C ,  B01D53/26 A ,  F24F3/14 ,  F24F7/06 C

Fターム (18件)：

3L053BC02 ,  3L053BC05 ,  3L058BD02 ,  3L058BE02 ,  3L058BF01 ,  3L058BF09 ,  4D020AA10 ,  4D020BA23 ,  4D020BB03 ,  4D020BC10 ,  4D020CB08 ,  4D020CC07 ,  4D020CC10 ,  4D020CD01 ,  4D052AA08 ,  4D052BA03 ,  4D052BB03 ,  4D052BB04