特許
J-GLOBAL ID：200903080644029378
スタンパ及びその製造方法、及びそのスタンパを用いたメディア製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-044261
公開番号（公開出願番号）：特開2001-236697
出願日： 2000年02月22日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 充分な密着性を有し、成形時の耐熱性を備え、転写性が良好でかつ平面度の良好な高品質の光ディスク基板成形用スタンパを得る。【解決手段】 表面が凸面の電鋳治具のバックプレート1を用意し(図(A))、マザー2をその信号面が凸面側となるようにセットする(図(B))。電鋳により表面金属層3を形成し(図(C))、さらにPAI樹脂をスピンコートして断熱層4を形成し(図(D))、さらに電鋳により金属層5を形成する(図(E))。そして積層体からマザー2を剥離して、スタンパ10を得る(図(F))。このスタンパ10をさらにポストキュアーして、平面度が最適なスタンパ10を得ることができる(図(G))。
請求項（抜粋）：
ガラス基板にフォトレジストを塗布形成後、レーザー露光、現像を順次行い、該フォトレジストに凹凸微細パターン形状を形成し、該フォトレジストの凹凸微細パターン形状面をメタライズ後に電鋳を行って、前記ガラス基板を剥離して除去し、さらに前記フォトレジストを除去することによりスタンパのマスターを得、該マスターに剥離皮膜処理を施した後電鋳して、該電鋳層から前記マスターを剥離して除去することにより、反転した凹凸微細パターンを有するマザーを得、該マザーに剥離皮膜処理後、該マザーの前記凹凸微細パターン形状面を凸面にして、該凸面側に、転写金属層、断熱層、金属層を順に積層形成し、得られた積層体から前記マザーを剥離することにより、前記転写金属層、前記断熱層及び前記金属層よりなる光ディスク基板成形用スタンパを製造することを特徴とするスタンパの製造方法。
Fターム (10件)：
5D121AA02
, 5D121CA01
, 5D121CA03
, 5D121CA06
, 5D121CB01
, 5D121CB03
, 5D121CB07
, 5D121CB08
, 5D121EE22
, 5D121GG07
