特許
J-GLOBAL ID：200903080655107222
照明光学装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-051228
公開番号（公開出願番号）：特開平6-244083
出願日： 1993年02月18日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 所望の照度分布を簡便に得られるようにする。【構成】 被照明面15における照度分布を調整するための可動レンズ4を有する照明光学手段と、前記照度分布を測定する手段と、前記可動レンズの位置を調整する駆動手段7と、予め前記可動レンズの複数位置において前記照度分布測定手段により測定した照度分布をその複数位置に対応させて記憶する手段と、これに記憶されている照度分布および使用時に前記照度分布測定手段によって測定された照度分布に基き使用時において所望の照度分布が得られる前記可動レンズの位置を求める演算手段6とを具備する。
請求項（抜粋）：
被照明面における照度分布を調整するための可動レンズを有する照明光学手段と、前記照度分布を測定する手段と、前記可動レンズの位置を調整する駆動手段と、予め前記可動レンズの複数位置において前記照度分布測定手段により測定した照度分布をその複数位置に対応させて記憶する手段と、これに記憶されている照度分布および使用時に前記照度分布測定手段によって測定された照度分布に基き使用時において所望の照度分布が得られる前記可動レンズの位置を求める演算手段とを具備することを特徴とする照明光学装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
