特許

J-GLOBAL ID：200903080658738649

有機薄膜およびそれを用いた化学センサプローブの作成方法

発明者： 杉本 岩雄 ,  中村 雅之 ,  桑野 博喜
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 雨宮 正季
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-078906
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253518
出願日： 1997年03月13日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】 強い分子間相互作用を有する付着性の高い高分子薄膜の形成方法および高感度で幅広い適応範囲を有する化学センサプローブの作成方法を提供することにある。【解決手段】 強い分子間相互作用を有する有機薄膜の形成方法に関するものであって、ターゲットとして有機材料3を用い、かつ、誘導結合プラズマイオンソース4によるスパッタリング現象を利用して薄膜形成を行い、この薄膜を振動子型重量検出トランスデューサー表面に形成する高分子薄膜、化学センサプローブの形成法である。【効果】 誘導結合プラズマによる有機薄膜作成法により分子間相互作用に関する活性点を高密度に含んだ薄膜作成が可能で、これらの薄膜を用いた化学センサプローブによる高感度なガス分子の検出が可能である。

請求項（抜粋）：

スパッタ法で有機薄膜を作成する方法において、有機材料をターゲットとして用い、かつ誘導結合プラズマイオンソースを用いたスパッタリングにより有機薄膜を形成することを特徴とする有機薄膜の作成方法。

IPC (4件)：

G01N 5/02 ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/34 ,  H01L 21/203

FI (4件)：

G01N 5/02 A ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/34 T ,  H01L 21/203 S