高表面積フォイル電極の製造法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大西正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-053765
公開番号（公開出願番号）：特開平11-317331
出願日： 1999年03月02日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】電解コンデンサのフォイル電極の表面積を増大させる。【解決手段】電解コンデンサのフォイル電極の表面積を増大させる方法。バルブ金属は、不活性ガスの圧力よりも大きさが1〜2程度低い圧力の酸素を含む低圧不活性雰囲気内でバルブ金属フォイル上に蒸着される。その結果得られる表面は、フラクタル状となる。そのように処理されたフォイルは、陰極などの使用に適している。陽極を製造するための陽極酸化前に、バルブ金属酸化物の不連続層がフォイル上に蒸着されて、フラクタル状表面の高表面積を保護する、あるいは金属フォイルとのその界面が高表面積を有する誘電体被膜の形成を促進させる。

請求項（抜粋）：

基材の表面積を増大させる方法であって、(a)約10-3トル〜約10-2トルの圧力を有する不活性雰囲気内に前記基材を配置するステップと、(b)前記基材に表面構造体を与えるために、前記不活性雰囲気下で前記基材上にバルブ金属を蒸着させるステップと、を含む方法。

IPC (5件)：

H01G 9/055 , C22F 1/04 , H01G 9/04 301 , C22F 1/00 613 , C22F 1/00 622

FI (5件)：

H01G 9/04 346 , C22F 1/04 K , H01G 9/04 301 , C22F 1/00 613 , C22F 1/00 622

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平3-150828
特開平4-014809
特開平3-196510

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審査官引用 (8件)

特開平3-150828
特開平3-150828
特開平4-014809

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