特許
J-GLOBAL ID：200903080661695772
画像測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 健二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-034673
公開番号（公開出願番号）：特開平10-232117
出願日： 1997年02月19日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：
【要約】【課題】未知の形状を有する被測定物の輪郭形状のエッジを自動で確実に測定することができる画像測定装置を提供する。【解決手段】被検査物の像を捉えて該像の光強度分布に応じた画像信号を生成する撮像部6と、該撮像部が捉えた撮像範囲内4aに設定されるエッジ検出領域15内にある前記画像信号から該エッジ検出領域内のエッジ位置を検出する制御ユニット2とを有する画像測定装置において、前記制御ユニット2は、該被検査物の輪郭形状7aに沿って該エッジ検出領域15を移動させて該輪郭形状のエッジ位置を検出し、当該移動させたエッジ検出領域内に該エッジが検出されない場合に、直前に検出されたエッジ位置を中心とするほぼ円弧上であって該エッジが検出されないエッジ検出領域と一部重なる様にずらした新たなエッジ検出領域15を設定することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被検査物の像を捉えて該像の光強度分布に応じた画像信号を生成する撮像部と、該撮像部が捉えた撮像範囲内に設定されるエッジ検出領域内にある前記画像信号から該エッジ検出領域内のエッジ位置を検出する制御ユニットとを有する画像測定装置において、前記制御ユニットは、該被検査物の輪郭形状に沿って該エッジ検出領域を移動させて該輪郭形状のエッジ位置を検出し、当該移動させたエッジ検出領域内に該エッジが検出されない場合に、直前に検出されたエッジ位置を中心とするほぼ円弧上であって該エッジが検出されないエッジ検出領域と一部重なる様にずらした新たなエッジ検出領域を設定することを特徴とする画像測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 K
, G06F 15/62 400
