特許
J-GLOBAL ID：200903080666145070
マイクロミラー装置及び光ディスク装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-325933
公開番号（公開出願番号）：特開2001-142009
出願日： 1999年11月16日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：
【要約】【課題】 ヒンジ部の寸法精度を高精度に保って可動部を適切に回動させると共に、可動部の変形を抑制し、光ディスク装置の微動アクチュエータとして用いられたときに優れた性能を発揮できるようにする。【解決手段】 可動部15がヒンジ部14を介して固定部13に連結され、ヒンジ部14が捩り変位することにより可動部15がヒンジ部14を軸として回動操作されるマイクロミラー装置10において、ヒンジ部14の厚みをヒンジ部14の幅よりも小とすると共に、可動部15の値を所定の値以上とする。
請求項（抜粋）：
固定部と、ヒンジ部を介して上記固定部に連結された可動部と、この可動部に形成された反射面とを備え、上記ヒンジ部の捩り変位により上記可動部が上記ヒンジ部を軸として回動操作されるマイクロミラー装置において、上記ヒンジ部の厚みが上記ヒンジ部の幅よりも小とされ、且つ、上記ヒンジ部の長さをLh、上記ヒンジ部の幅をWh、上記ヒンジ部の厚みをTh、上記ヒンジ部のヤング率をEhとし、上記可動部の長さをLm、上記可動部の幅をWm、上記可動部の厚みをTm、上記可動部のヤング率をEmとしたときに、以下の式を満足することを特徴とするマイクロミラー装置。Tm>{(Eh/Em)・(Wh・Th3/Lh3)・(Lm3/Wm)}1/3
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 26/08 E
, G11B 7/09 E
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
, 5D118AA13
, 5D118BA01
, 5D118DC07
, 5D118EA19
, 5D118EF07
, 5D118FA16
, 5D118FB13
, 5D118FB19
