特許
J-GLOBAL ID:200903080666909185
強誘電体メモリ装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高橋 敬四郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-046855
公開番号(公開出願番号):特開2000-200879
出願日: 1999年02月24日
公開日(公表日): 2000年07月18日
要約:
【要約】【課題】 高集積化に適した強誘電体メモリ装置を提供する。【解決手段】 ソース領域、ドレイン領域、及びゲート電極とを含んで構成される電界効果トランジスタのソース領域とゲート電極とを、第1の強誘電体キャパシタが接続する。ドレイン領域とゲート電極とを第2の強誘電体キャパシタが接続する。
請求項(抜粋):
ソース領域、ドレイン領域、及びゲート電極とを含んで構成される電界効果トランジスタと、前記ソース領域と前記ゲート電極とを接続する第1の強誘電体キャパシタと、前記ドレイン領域と前記ゲート電極とを接続する第2の強誘電体キャパシタとを有する強誘電体メモリ装置。
IPC (8件):
H01L 27/10 451
, G11C 11/22
, G11C 14/00
, H01L 27/108
, H01L 21/8242
, H01L 21/8247
, H01L 29/788
, H01L 29/792
FI (5件):
H01L 27/10 451
, G11C 11/22
, G11C 11/34 352 A
, H01L 27/10 651
, H01L 29/78 371
Fターム (31件):
5B024AA07
, 5B024BA01
, 5B024CA27
, 5F001AA17
, 5F001AD10
, 5F001AD12
, 5F001AD33
, 5F001AD62
, 5F083FR01
, 5F083GA06
, 5F083GA09
, 5F083JA13
, 5F083JA14
, 5F083JA15
, 5F083JA17
, 5F083JA38
, 5F083JA39
, 5F083JA40
, 5F083JA42
, 5F083JA43
, 5F083LA03
, 5F083NA08
, 5F083PR03
, 5F083PR09
, 5F083PR21
, 5F083PR23
, 5F083PR33
, 5F083PR40
, 5F083PR43
, 5F083PR53
, 5F083ZA28
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