マスク検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-220679
公開番号（公開出願番号）：特開平8-087101
出願日： 1994年09月14日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：

【要約】【目的】多重描画を行って形成したマスクのパターンを1つの設計データとの比較で1パスで検査することができるマスク検査装置を提供すること。【構成】多重露光によりLSIのパターンが形成されたマスクに光を照射し、その透過光を検出してマスクパターンの像を撮像し、撮像パターンデータと設計パターンデータとの比較によりパターン欠陥の有無を検査するマスク検査装置において、検査領域を短冊状のフレームに分割してフレーム単位で検査を行い、かつフレーム単位の検査の中で検査不要部を設定することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

所定のパターンが形成されたマスクに光を照射し、その透過光又は反射光を検出してマスクパターンの像を撮像し、撮像パターンと設計パターンとの比較により欠陥の有無を検査するマスク検査装置において、検査領域を短冊状のフレームに分割してフレーム単位で検査を行う手段と、フレーム単位の検査の中で検査不要部を設定する手段とを具備してなることを特徴とするマスク検査装置。

IPC (3件)：

G03F 1/08 , H01L 21/027 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭61-216428
特開昭60-005522
特開昭61-216428

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