特許
J-GLOBAL ID：200903080671392840
真空アークデスケーリング用電極クリーニング方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
茶野木 立夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-035673
公開番号（公開出願番号）：特開平8-232088
出願日： 1995年02月23日
公開日（公表日）： 1996年09月10日
要約：
【要約】【目的】 真空アークデスケーリング処理において、アークを長時間安定にし、均一性の良い処理表面を得るための電極クリーニング方法を提供する。【構成】 電極及びデスケーリングする被処理物との間に真空アークを発生させるための回路に極性切り替え装置を設置して、デスケール電極が汚れた時に汚れを除去するため、短時間、電極の極性を逆転させる。
請求項（抜粋）：
真空アークデスケーリングにおいて、本来陽極として作動するデスケール電極の極性をある期間反転し、陰極動作をさせることを特徴とするデスケール電極をクリーニングする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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