特許

J-GLOBAL ID：200903080684286721

圧力センサ

発明者： 吉川 宜男
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 稲本 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-109855
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318446
出願日： 1991年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】 過大な圧力がダイヤフラムを構成する基板の薄肉部にかかっても、薄肉部が破壊することを防止できる圧力センサを提供する。【構成】 ガラス板3と、中央に薄肉部2が形成された単結晶シリコン基板1とを、空洞4を介して接合してなる感圧チップを備えた圧力センサにおいて、基板1の薄肉部2の中心に厚肉部7を形成し、基板1の下面に係止部材8を固定し、係止部材8に厚肉部7に所定の間隙を介して対向する突出部9を設けた。

請求項（抜粋）：

圧力によって変位する可動部を設けた半導体基板を備える圧力センサにおいて、前記可動部が所定量変位したときに前記可動部と接触することにより前記可動部の変位可能な範囲を制限する可動範囲制限部を設けたことを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/12 ,  H01L 29/84

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭58-151536
  
• 特開昭58-045533
  
• 特開昭59-155971