特許

J-GLOBAL ID：200903080688234130

ウエハ加熱装置およびバンプ形成装置

発明者： 渥美 幸一郎
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-015381
公開番号（公開出願番号）：特開平6-232131
出願日： 1993年02月02日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【構成】 ウエハ3に形成された各素子3aの電極上にボ-ルバンプを形成するバンプ形成装置であって、ウエハ3を保持するウエハ保持ステ-ジ5の下面に当接することで上記ウエハの3つの素子3aを加熱可能な加熱面を有する加熱ブロック18を、上記ウエハ3のボ-ルバンプの形成される素子3aを加熱するように上記ウエハ保持ステ-ジ5に対して相対的に1素子毎に間欠位置決め駆動する装置である。【効果】 ウエハに形成された各素子の電極により良質のボ-ルバンプを形成することができるという効果がある。

請求項（抜粋）：

上面にウエハを保持するテ-ブルと、上記テ-ブルの下面側にこのテ-ブルに対して相対的に移動可能に配置され、上記ウエハを部分的に加熱する加熱ブロックと、上記テ-ブルと加熱ブロックとを相対的に位置決め駆動する駆動手段とを具備することを特徴とするウエハ加熱装置。