特許
J-GLOBAL ID：200903080691042307
積層基板ユニットの洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-127706
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335130
出願日： 1994年06月09日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 本発明は平板型画像表示装置等に用いられる薄板に多数の電子ビーム通過用を形成して面電極を形成し、且つこの面電極を複数枚積層した電極ユニットの層間に付着した異物を効果的に除去して良質な画像表示装置を得るための異物除去方法に関する。【構成】 積層電極ユニット11を水平に載置して、水平方向に往復移動できるようにし、積層電極ユニット11の配列に応じ、垂直面からエアーを吹き出す吹出ノズルと24、除電エアーを吹出すノズル27と、ハウジングの上下から外方にエアーを吸引するヘッド25、26で構成する。
請求項（抜粋）：
多数の孔を有する薄板状の基板を、互いに平行な間隔を保持するようにスペーサーを介して重ね合わせた積層基板ユニットの洗浄方法において、前記積層基板ユニットを平面状に保持する保持手段と、前記平面状に保持した積層基板ユニットを水平に往復運動させる移動手段と、前記積層基板ユニットを上下両面から覆うハウジングユニットと、前記ハウジングユニットの片面から上記積層基板ユニットの上または下面に向かって垂直な方向からエアーを吹出しする複数のノズルと、エアーの供給源と、前記ハウジングユニット内の上面及び下面から外方向に向けエアーを吸引するヘッドを有すると共に該積層基板の上面に向かって静電気の除電ブローを行うバーヘッドとを設けた装置により前記異物を除去することを特徴とする積層面基板の洗浄方法。
IPC (2件)：
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