特許

J-GLOBAL ID：200903080691825417

光変調素子アレイ及びその製造方法

発明者： 木村 宏一 ,  望月 文彦
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-382580
公開番号（公開出願番号）：特開2004-212680
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】空隙を形成するための犠牲層の除去に伴う可動透明電極の膜減りや応力残留を抑え、可動部の変位動作を安定して行い得る光変調素子アレイ、並びに前記光変換素子アレイを得るための製造方法を提供する。【解決手段】透明基板1と、透明電極2とを有する基板と、基板上に空隙5を介在させて設けられ、基板とは反対側の面に透明電極7、更にその上に透光性を有する保護膜40を有する可撓薄膜からなる可動部8とを備え、両透明電極2,7との間に電圧を印加して静電気力により可動部8を基板側に変位させることにより、光源からの光を可動部8から外部に出射させる光変調素子を2次元マトリクス状に配列してなる光変調素子アレイ。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

透明電極を有する基板と、 前記基板上に空隙を介在させて設けられ、基板とは反対側の面に透明電極を有する可撓薄膜からなる可動部とを備え、 前記両透明電極との間に電圧を印加して静電気力により前記可動部を前記基板側に変位させることにより、光源からの光を前記基板及び前記可動部を透過させて外部に出射させる光変調素子を2次元マトリクス状に配列してなる光変調素子アレイにおいて、 前記可動部の透明電極の表面に、透光性を有する保護膜が成膜されていることを特徴とする光変調素子アレイ。

IPC (3件)：

G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

FI (3件)：

G02B26/08 A ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

Fターム (5件)：

2H041AA14 ,  2H041AA18 ,  2H041AB40 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ08