特許
J-GLOBAL ID：200903080693364182
垂直磁気記録媒体の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-333231
公開番号（公開出願番号）：特開平7-192264
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 スパッタリング法を用いて、非磁性金属下地層を用いずに、高保磁力と高結晶配向性を兼ね備えた磁気ディスク用垂直磁気記録媒体を提供することにある。【構成】 非磁性基板上または非磁性基板上にあらかじめ軟磁性膜を施したものに、スパッタリング法を用いてCoCr系合金からなる垂直磁化膜を成膜する垂直磁気記録媒体の製造方法において、前記基板温度を100°C以下の温度範囲に維持した状態でCoCr系合金からなる第1層を50Åから400Åの範囲の膜厚に成膜した後、前記基板温度を第1層の成膜時よりも高温に維持した状態で、前記第1層上にCoCr系合金からなる第2層を成膜することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
非磁性基板上または非磁性基板上にあらかじめ軟磁性膜を施したものに、スパッタリング法を用いてCoCr系合金からなる垂直磁化膜を成膜する垂直磁気記録媒体の製造方法において、該基板温度を100°C以下の温度範囲に維持した状態でCoCr系合金からなる第1層を50Åから400Åの範囲の膜厚に成膜した後、該基板温度を第1層の成膜時よりも高温に維持した状態で、該第1層上にCoCr系合金からなる第2層を成膜することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
引用特許：
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