特許

J-GLOBAL ID：200903080698551142

レイアウト設計支援装置、コンピュータ読み取り可能な記録媒体

発明者： 渡辺 和宗 ,  辻本 英二
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-067065
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260879
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 レイアウトパターンに対する補正結果と、この補正の検証結果とをレイアウトパターン設計者自身が設計中に逐次確認できるレイアウト設計支援装置、コンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供する。【解決手段】 縮小投影露光に使われるレチクルパターンを作成する設計支援装置であって、レイアウトパターンを作成するためのレイアウトエディタ1と、レイアウトパターンに対して補正および検証を行うためのOPC補正・検証装置2と、レイアウトパターン、補正および検証のデータを格納するためのデータベース3などから構成され、レイアウトエディタ1は、設計者がユーザインタフェースを通して操作することが可能とされ、レイアウトパターンを作成するための機能の他に、OPC補正・検証装置2の補正および検証を行うための機能を支援するために、画面上のメニューに補正・検証コマンドが追加されている。

請求項（抜粋）：

レイアウトパターンを作成するための作成手段と、前記作成手段を通して起動し、前記作成手段により作成されたレイアウトパターンに対して補正を行うための補正手段と、前記作成手段を通して起動し、前記補正手段により補正されたレイアウトパターンに対してシミュレーションを行い、前記補正されたレイアウトパターンと、対象物に形成されるべき目的のレイアウトパターンとの比較検証を行う検証手段とを含み、前記検証手段において、前記補正されたレイアウトパターンが、前記目的のレイアウトパターンに一致するまで、前記補正手段によりレイアウトパターンを補正することを特徴とするレイアウト設計支援装置。

IPC (3件)：

H01L 21/82 ,  G03F 1/08 ,  G06F 17/50

FI (4件)：

H01L 21/82 D ,  G03F 1/08 A ,  G06F 15/60 658 M ,  G06F 15/60 666 S

Fターム (12件)：

2H095BA02 ,  2H095BB01 ,  5B046AA08 ,  5B046BA04 ,  5B046JA00 ,  5B046JA04 ,  5F064DD04 ,  5F064HH07 ,  5F064HH09 ,  5F064HH10 ,  5F064HH12 ,  5F064HH14