特許
J-GLOBAL ID：200903080713777292
リンス排水の処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-066566
公開番号（公開出願番号）：特開平6-277663
出願日： 1993年03月25日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 半導体製造工程から排出されるリンス排水をアニオン交換樹脂で処理する方法において、樹脂の再生廃液を短時間で低コストかつ効率的に処理して高純度処理水を得ると共に、フッ素を効率的に回収する。【構成】 得られる再生廃液をフッ素濃厚再生廃液とフッ素希薄再生廃液とに分別し、フッ素濃厚再生廃液は炭酸カルシウム充填塔7に通液し、フッ素希薄再生廃液は凝集槽5Aで凝集処理する。
請求項（抜粋）：
半導体製造工程から排出されるリンス排水をアニオン交換樹脂塔に通液して処理する方法であって、該リンス排水の通液後にアニオン交換樹脂の再生を行なう方法において、得られる再生廃液をフッ素濃厚再生廃液とフッ素希薄再生廃液とに分別し、該フッ素濃厚再生廃液は炭酸カルシウム充填塔に通液し、該フッ素希薄再生廃液は凝集処理することを特徴とするリンス排水の処理方法。
IPC (4件)：
C02F 1/42 ZAB
, C02F 1/52 ZAB
, C02F 1/58 ZAB
, C02F 9/00 ZAB
