特許

J-GLOBAL ID：200903080719575330

静電アクチュエータ

発明者： 西口 登 ,  樋口 俊郎
出願人/特許権者： 松下電工株式会社 ,  樋口 俊郎
代理人 (1件)： 石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-134397
公開番号（公開出願番号）：特開平5-260766
出願日： 1991年06月05日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【目的】基準位置を再現性よく設定するとともに、乱調や脱調を防止する。【構成】可動子1および固定子2は、それぞれ直線帯状の多数の可動子電極11および固定子電極21を備える。可動子電極11および固定子電極21と、駆動電圧を発生する直流電源5との間にスイッチ要素4を挿入し、切換制御部6によってスイッチ要素4の開閉状態を切り換える。このとき、可動子電極11と固定子電極21との間に生じるクーロン力により可動子1が固定子2に対して移動する。可動子1と固定子2とには、それぞれ可動子電極11および固定子電極21と相似形状であるセンシング電極12,22を設ける。センシング電極12,22の間の静電容量の変化を位置判定部7により検出することにより、可動子1の固定子2に対する相対位置を検出する。この相対位置に基づいてスイッチ要素4の切換タイミングをフィードバック制御する。

請求項（抜粋）：

多数の固定子電極を一方向に所定間隔で配列した固定子と、固定子電極に対向して配置される多数の可動子電極を上記一方向に所定間隔で配列して構成した可動子と、固定子と可動子との間に介在させた絶縁体層と、可動子電極と固定子電極との間に生じるクーロン力により可動子が固定子に対して上記一方向に移動するように固定子電極と可動子電極とに駆動電圧を印加する駆動電圧制御手段と、固定子に対する可動子の変位量を検出し変位量に応じた駆動電圧が固定子電極と可動子電極とに印加されるように駆動電圧制御手段をフィードバック制御する位置検出手段とを備えて成ることを特徴とする静電アクチュエータ。