ポリッシング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：熊谷隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-044199
公開番号（公開出願番号）：特開平9-207065
出願日： 1996年02月05日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：

【要約】【課題】トップリング駆動軸とドレッシングツール駆動軸の錆を効果的に防止することができるポリッシング装置を提供すること。【解決手段】トップリング駆動軸30(又はドレッシングツール駆動軸)の少なくとも砥液(又はドレッシング液)が付着する下端部近傍の外表面に、耐摩耗性の樹脂材をコーティングする。

請求項（抜粋）：

駆動手段によって駆動されるトップリング駆動軸の下端にトップリングを取り付け、該トップリングとターンテーブルの間にポリッシング対象物を介在させるとともに研磨用の砥液を供給し、且つ前記トップリング駆動軸によって駆動されるトップリングと前記ターンテーブルとを各々独立した回転数で回転することで該ポリッシング対象物表面を平坦に研磨するポリッシング装置において、前記トップリング駆動軸の少なくとも前記砥液が付着する下端部近傍の外表面に、耐摩耗性の樹脂材をコーティングしたことを特徴とするポリッシング装置。

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