特許

J-GLOBAL ID：200903080726831547

ステージ装置及び露光装置

発明者： 林 豊 ,  李 世文
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 前田 均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-329039
公開番号（公開出願番号）：特開2001-148339
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】発熱量を減少させて高速化及び位置決め精度の向上を可能にしたステージ装置を提供することである。【解決手段】ステージ27をベース16の移動面に沿って駆動するステージ装置は、第1固定子21及び第1移動子22を有し流体によりステージ27を駆動する第1駆動装置RCSと、第1移動子22に接続された第2固定子25及びステージ27に接続された第2移動子26を有する第2駆動装置RFSとから構成される。

請求項（抜粋）：

ステージをベースの移動面に沿って駆動するステージ装置において、第1固定子と、第1移動子とを有し、流体により前記ステージを駆動する第1駆動装置と、前記第1移動子に接続された第2固定子と、前記ステージに接続された第2移動子とを有し、前記ステージを駆動する第2駆動装置とを備えたことを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G01B 21/00 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (6件)：

G01B 21/00 L ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 516 B

Fターム (23件)：

2F069AA03 ,  2F069BB40 ,  2F069GG07 ,  2F069HH30 ,  2F069MM24 ,  2F069MM34 ,  2F069MM38 ,  2F069NN05 ,  2F069RR01 ,  5F046AA23 ,  5F046BA03 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046CC19 ,  5F046DA06 ,  5F046DA07 ,  5F046DB05 ,  5F046DB11 ,  5F046DB14