インクジェット記録ヘッドの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村恒久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-216926
公開番号（公開出願番号）：特開平8-080614
出願日： 1994年09月12日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】内部電極の不規則なピッチ寸法誤差を有する積層圧電セラミック板の加工を短時間、低コストで可能とする。【構成】積層圧電セラミック板60の表面に光を照射し、反射光をCCD68により受光し、その受光出力より基準位置と内部電極32a〜32dのピッチを検出し、この検出信号に基づいて加工パターンの補正を行う。積層圧電セラミック板60の表面を感光性フィルム72にて被覆する。積層圧電セラミック板60の基準位置信号と補正された加工パターン出力に基づいて各内部電極間のフィルム72をレーザービームにてパターン露光する。パターン露光終了後に露光面を現像してフィルム72の不要部分を除去する。フィルム72の除去部分にブラスト機Cにより砥粒を吹き付けて切削加工を行う。切削加工後にフィルム72を除去する。

請求項（抜粋）：

複数枚の所定幅の圧電セラミック板をそれぞれ内部電極を介在させて積層焼結してなる電気機械変換素子部材の表面の所望の領域に対して、ブラスト手段により砥粒を吹き付けて切削加工を行うことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

前のページに戻る