特許
J-GLOBAL ID：200903080744758571
放射線感応性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-202342
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092677
出願日： 1993年08月16日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 放射線に対して高い感度を有しかつ高解像度の新規な放射線感応性樹脂組成物を提供すること。【構成】 第1の成分として、分子量11500、分子量分散1.26のt-ブチルカルボニル化ポリ(ヒドロキシスチレン)0.15g、第2の成分として、4,4 ́-イソプロピリデンジフェノールt-ブチルカルボニル8.39mg、第3の成分として、トリフェニルスルホニウムトリフレート8.07mgをそれぞれ溶剤であるシクロヘキサノン1.0mlに溶解してレジスト液を調製する。
請求項（抜粋）：
第1成分としてフェノール樹脂、第2成分として溶解抑止剤及び第3成分として酸発生剤を含み、前記溶解抑止剤をフェノール類のt-ブトキシカルボニルエステルまたはフェノール類のt-ブチルエーテルとしたことを特徴とする放射線感応性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 503
, G03F 7/023 511
, H01L 21/027
