特許
J-GLOBAL ID：200903080745681009
ステージ装置および該ステージ装置を用いた露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-274409
公開番号（公開出願番号）：特開2000-092815
出願日： 1998年09月10日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：
【要約】【課題】 コイルホルダーの表面温度勾配を低減し、位置決め精度への悪影響を除去することができるステージ装置を提供する。【解決手段】 可動ステージ1と、可動ステージ1を所定方向に駆動するための磁石2とコイル4とからなるリニアモータと、コイル4とコイルホルダー5との間に設けた冷媒流路6に配管8、9を介して冷媒を循環させてリニアモータから生じる熱を回収する冷却装置7とを備えた露光装置等に用いられるステージ装置において、配管8、9にリニアモータ部を循環する冷媒の流れ方向を正逆反転させる流路切替弁21、22をそれぞれ配設し、これらの流路切替弁21、22を演算制御装置20により所定の周期をもって作動させ、リニアモータ部を循環する冷媒の流れ方向を正逆反転させ、リニアモータ部に生じる温度勾配を低減させ、ステージ装置の位置決め精度への悪影響を除去する。
請求項（抜粋）：
可動ステージと、該可動ステージを所定方向に駆動するリニアモータと、該リニアモータに配管系を介して冷媒を循環させ該リニアモータから生じる熱を回収する冷却装置とを備えたステージ装置において、前記リニアモータを循環する冷媒の流れ方向を正逆反転させる流れ方向切替手段を有することを特徴とするステージ装置。
IPC (3件)：
H02K 41/02
, H01L 21/027
, H01L 21/68
H02K 41/02 Z
, H01L 21/68 K
, H01L 21/30 520 A
