特許

J-GLOBAL ID：200903080745700046

再入射防止板及びそれを有する荷電粒子線露光装置

発明者： 中筋 護
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-126661
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323373
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 2次電子検出器と併用した場合にも収差の原因とならず、反射電子量を少なくできる再反射防止板を提供する。【解決手段】 再反射防止板31は、ウエハ15の被露光面15aに対向して配置される。再反射防止板31の下面には、下に向って開いている軸対称のくさび形の複数の凹部33が一面に形成されている。くさび形凹部33の中心線は、露光光学系の光軸と被露光面との交点15bを頂点とする円錐面上にある。

請求項（抜粋）：

感応基板の被露光面に対向して配置され、該面から反射する露光光が反射して該面に再入射することを防止する再入射防止板であって;該板の上記被露光面側の面には、被露光面側に向って開いている軸対称のくさび形の複数の凹部が一面に形成されており、該くさび形凹部の中心線が、実質的に、露光光学系の光軸と被露光面との交点を頂点とする円錐面上にあることを特徴とする再入射防止板。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  H01J 37/09 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/305

FI (4件)：

H01L 21/30 541 B ,  H01J 37/09 Z ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/305 B

Fターム (18件)：

5C033BB05 ,  5C033BB06 ,  5C033BB08 ,  5C033BB10 ,  5C033DD02 ,  5C033DD07 ,  5C033DD09 ,  5C033DE07 ,  5C033NN01 ,  5C033NN02 ,  5C033NP01 ,  5C033NP08 ,  5C034BB02 ,  5C034BB06 ,  5F056AA22 ,  5F056BB01 ,  5F056EA18 ,  5F056FA07