特許

J-GLOBAL ID：200903080748775837

オゾン供給装置及び方法

発明者： 米倉 正浩 ,  讃井 宏
出願人/特許権者： 日本酸素株式会社
代理人 (1件)： 木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-355316
公開番号（公開出願番号）：特開2001-172004
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2001年06月26日
要約：

【要約】【課題】 オゾン発生器で発生したオゾンの利用効率を高め、かつ、吸着剤の吸着能力を有効に利用できるとともに、掃気ガスに含まれる不純物によるオゾン発生効率の低下や吸着剤の劣化を抑制することができるオゾン供給装置及び方法を提供する。【解決手段】 オゾン脱着・供給工程の途中あるいは終了後に、該吸着筒への掃気ガスの導入を停止し、該吸着筒内が減圧状態になるまで吸着筒内のガスを排気するとともに、排気したガスを昇圧後に製品オゾンとして使用し、オゾン吸着・酸素循環再利用工程開始前には、減圧状態にある吸着筒内に高純度酸素ガスを導入して該吸着筒内を昇圧する。

請求項（抜粋）：

オゾン原料となる高純度酸素ガスを供給する高純度酸素ガス供給源と、該高純度酸素ガス供給源から供給される高純度酸素ガスを原料としてオゾンを発生するオゾン発生器と、オゾンを優先的に吸着する吸着剤が充填され、オゾン発生器で発生したオゾンを相対的に低温の吸着工程で吸着し、相対的に高温の脱着工程で脱着する操作が交互に行われる吸着筒と、前記吸着工程で吸着剤に吸着せずに吸着筒から導出した酸素ガスを前記高純度酸素ガスに循環混合する酸素循環経路と、前記脱着工程で吸着剤から脱着したオゾンを同伴して吸着筒から導出するための掃気ガスを吸着筒内に導入する掃気ガス導入経路と、該脱着工程で吸着筒からオゾン同伴掃気ガスを導出するオゾン導出経路と、該オゾン導出経路に導出したオゾン同伴掃気ガスを製品オゾンとしてオゾン消費先に供給するオゾン供給経路と、前記吸着筒内のガスを吸引して昇圧後に前記製品オゾンに導入混合するポンプとを備えていることを特徴とするオゾン供給装置。

IPC (2件)：

C01B 13/10 ,  B01D 53/04

FI (4件)：

C01B 13/10 A ,  B01D 53/04 G ,  B01D 53/04 F ,  B01D 53/04 E

Fターム (15件)：

4D012CA13 ,  4D012CB16 ,  4D012CD01 ,  4D012CD05 ,  4D012CD07 ,  4D012CE02 ,  4D012CF03 ,  4D012CF05 ,  4D012CG01 ,  4D012CJ01 ,  4D012CJ06 ,  4G042CB03 ,  4G042CB15 ,  4G042CB16 ,  4G042CE04