特許
J-GLOBAL ID：200903080749746733
超音波硬度測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-287428
公開番号（公開出願番号）：特開平9-126976
出願日： 1995年11月06日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：
【要約】【課題】 被検体の弾性特性がたとえ微小に変化しても変化に対応して測定された硬度を自動的に補正して、硬度測定精度を向上する。【解決手段】 超音波硬度測定装置において、被検体5を移動自在に支持する試料台4と、振動棒14を被検体5に押圧する振動棒駆動機構9と、被検体5内の各測定点及び測定順序を記憶する測定条件記憶部28と、測定条件記憶部の記憶内容に従って試料台及び振動棒駆動機構を順番に起動していく測定制御部20とを備えている。さらに、圧痕表面積Ac を実測するための顕微鏡12と、この顕微鏡を被検体の押圧部分へ移動させる顕微鏡移動機構9と、顕微鏡で実測された圧痕表面積Ac と算出された圧痕表面積Aとの関係から補正情報COを算出する補正情報算出手段24と、算出された補正情報を用いて各測定点29の硬度を補正する硬度補正手段22とを備えている。
請求項（抜粋）：
先端に被検体に当接するためのダイヤモンド圧子が取付けられた振動棒を加振させた状態で前記被検体に規定時間だけ規定加重で押圧し、押圧した状態における前記振動棒の共振周波数を測定し、この測定された共振周波数の非押圧状態の自由共振周波数からの変化量と、前記被検体及びダイヤモンドの弾性特性情報とから、前記被検体の押圧部分の圧痕表面積を算出し、この圧痕表面積と前記規定加重とから前記被検体の硬度を算出する超音波硬度測定装置において、前記被検体を2次元平面内に移動自在に支持する試料台と、前記振動棒を前記被検体に押圧する振動棒駆動機構と、前記被検体内の各測定点及び測定順序を記憶する測定条件記憶部と、この測定条件記憶部の記憶内容に従って前記試料台及び振動棒駆動機構を順番に起動していく測定制御部とを備え、かつ、前記圧痕表面積を実測するための顕微鏡と、この顕微鏡の対物レンズを前記試料台に支持された被検体の前記押圧部分の対向位置へ移動させる顕微鏡移動機構と、前記顕微鏡で実測された圧痕表面積と前記算出された圧痕表面積との関係から硬度に対する補正情報を算出する補正情報算出手段と、この補正情報算出手段で算出された補正情報を用いて前記算出された各測定点の硬度を補正する硬度補正手段とを備えたことを特徴とする超音波硬度測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 3/42 B
, G01N 3/40 C
