特許

J-GLOBAL ID：200903080752060095

(メタ)アクリル系重合体および感放射線性樹脂組成物

発明者： 西村 幸生 ,  山本 將史 ,  西村 功
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-380702
公開番号（公開出願番号）：特開2004-210910
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、特に、レジスト溶剤への溶解性に優れ、現像後のパターン側壁のラフネスを低減する感放射線性樹脂組成物に適した(メタ)アクリル系重合体を提供する。【解決手段】下記式(1)で表される繰り返し単位を含む(メタ)アクリル系重合体。【化1】Rは水素またはメチル基を表し、Xは単結合または炭素数1〜3の2価の有機基を表し、Yは相互に独立に単結合または炭素数1〜3の2価の有機基を表し、R1は相互に独立に水素原子、水酸基、シアノ基、または-COOR3基を表す。【選択図】 無

請求項（抜粋）：

下記式(1)で表される繰り返し単位を含むことを特徴とする(メタ)アクリル系重合体。

IPC (3件)：

C08F20/10 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

FI (3件)：

C08F20/10 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

Fターム (32件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA03 ,  4J100BA16 ,  4J100BA20 ,  4J100BA40 ,  4J100BC03 ,  4J100BC04 ,  4J100BC09 ,  4J100BC53 ,  4J100BD12 ,  4J100CA01 ,  4J100CA05 ,  4J100DA39 ,  4J100JA37

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-149862   出願人：富士写真フイルム株式会社
• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-246979   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 酸感応性化合物及びフォトレジスト用樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-135623   出願人：ダイセル化学工業株式会社
• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-149861   出願人：富士写真フイルム株式会社