漏洩試験方法及び漏洩試験装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤巻正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-078719
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275134
出願日： 1999年03月23日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】漏洩試験に際して補強部材を不要とし、ワークの内外圧力差を監視する必要がない漏洩試験方法及び漏洩試験装置を提供する。【解決手段】チャンバ30内にワーク31が収納され、ワーク31のワークポートシール32には配管36cが接続され、チャンバ30には配管36bが接続されている。配管36b、36cはいずれも配管36aに接続されており、この配管36aは真空ポンプ33に接続されている。また、配管36aには、He等のトレーサガス供給源38に接続された配管36dと、空気源39に接続された配管36eとが接続されている。チャンバ30には配管36iが接続されており、この配管36iにはトレーサガス検知器35が接続されている。そして、開閉弁37a、37b、37c、37d、37e、37f、37gを操作して、ワーク31内とチャンバ30内を同時に真空吸引し、両者内に同時に空気を導入する。

請求項（抜粋）：

密閉された被検査容器の漏洩を試験する漏洩試験方法において、前記被検査容器をチャンバ内に装入する工程と、前記被検査容器の内部と前記チャンバの内部とを同時に真空吸引する工程と、前記被検査容器内にトレーサガスを注入する工程と、前記チャンバ内に漏出してきたトレーサガスを検出する工程と、を有することを特徴とする漏洩試験方法。

IPC (2件)：

G01M 3/32 , G01M 3/20

FI (2件)：

G01M 3/32 A , G01M 3/20 B

Fターム (6件)：

2G067AA44 , 2G067BB31 , 2G067CC11 , 2G067CC13 , 2G067DD17 , 2G067DD18

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平4-089542
特開平4-013942
漏洩試験方法及び漏洩試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-251897 出願人：ヤマハ株式会社

審査官引用 (6件)

特開平4-089542
特開平4-089542
特開平4-013942

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