特許

J-GLOBAL ID：200903080756473440

金属材料表層の内部酸化層評価方法

発明者： 槇石 規子 ,  山本 公 ,  佐藤 進
出願人/特許権者： JFEスチール株式会社
代理人 (3件)： 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-179840
公開番号（公開出願番号）：特開2004-020519
出願日： 2002年06月20日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：

【課題】金属材料の表層の内部酸化層における粒界酸化物の量を定量的に評価できるようにした金属材料表層の内部酸化層評価方法の提供。【解決手段】この発明は、金属材料の表面をスパッタリングし、このスパッタリングされた面の反射電子組成像を撮影し、この撮影した反射電子組成像に対して所定の画像処理を行い、金属材料の表層における粒内酸化と粒界酸化の状態に関する情報を得るようにしたものである。また、上記のスパッタリングの深さは、5μm以下であることが好ましい。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

金属材料の表面をスパッタリングし、このスパッタリングされた面の反射電子組成像を撮影し、この撮影した反射電子組成像に対して所定の画像処理を行い、前記金属材料の表層における粒内酸化と粒界酸化の状態に関する情報を得るようにしたことを特徴とする金属材料表層の内部酸化層評価方法。

IPC (3件)：

G01N1/28 ,  G01N23/20 ,  G01N33/20

FI (3件)：

G01N1/28 G ,  G01N23/20 ,  G01N33/20 J

Fターム (27件)：

2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA10 ,  2G001AA20 ,  2G001BA06 ,  2G001BA15 ,  2G001CA03 ,  2G001FA29 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001HA13 ,  2G001JA13 ,  2G001KA20 ,  2G001LA02 ,  2G001MA05 ,  2G001RA04 ,  2G001RA20 ,  2G052AA12 ,  2G052EC14 ,  2G052GA32 ,  2G052GA35 ,  2G052HC04 ,  2G055AA01 ,  2G055BA01 ,  2G055BA20 ,  2G055EA06 ,  2G055FA06