高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松山允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-353444
公開番号（公開出願番号）：特開2001-139379
出願日： 1999年11月09日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】窒化アルミニウム焼結体の製造方法において、緻密で高熱伝導率の焼結体を、容易に製造する方法を提供する。【解決手段】窒化アルミニウム焼結原料に、焼結助剤としてそれぞれ窒化アルミニウム焼結原料に対して0〜3重量%のY2O3及び1〜5重量%のYAGを添加し、次いでこれに有機バインダーを混合して成形する工程と、得られた成形体を加熱することにより窒化アルミニウム焼結原料に対して0.1〜0.5重量%の残留炭素を生成するように有機バインダーを熱分解する脱脂工程と、これによって得られた脱脂体を焼成する工程で、窒化アルミニウムを製造する。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム焼結原料に、焼結助剤としてそれぞれ窒化アルミニウム焼結原料に対して0〜3重量%のY2O3及び1〜5重量%のYAGを添加し、次いでこれに有機バインダーを混合して成形する工程、得られた成形体を加熱することにより窒化アルミニウム焼結原料に対して0.1〜0.5重量%の残留炭素を生成するように有機バインダーを熱分解する脱脂工程、得られた脱脂体を焼成する工程からなることを特徴とする高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法

IPC (2件)：

C04B 35/581 , H01L 23/373

FI (2件)：

C04B 35/58 104 D , H01L 23/36 M

Fターム (13件)：

4G001BA09 , 4G001BA36 , 4G001BA65 , 4G001BB36 , 4G001BB73 , 4G001BC17 , 4G001BC34 , 4G001BC56 , 4G001BD03 , 4G001BD38 , 5F036AA01 , 5F036BB01 , 5F036BD13

引用特許：

審査官引用 (5件)

AlN焼結体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-337746 出願人：東芝セラミックス株式会社
特開平1-172272
特開平1-298072

全件表示

前のページに戻る