特許
J-GLOBAL ID：200903080771047296
走査型顕微鏡用探針の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-308226
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159421
出願日： 1993年12月08日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】走査型顕微鏡用探針の表面に生成した酸化膜を、探針の形状を変える事なく、容易に還元する方法を提供する。【構成】探針をアルカリ性の電解溶液中に浸漬し、探針を陰極に、対向電極を陽極にして直流電圧をかける。
請求項（抜粋）：
探針を電解溶液に浸漬し、該探針及び対向電極に電圧をかけることを特徴とする走査型顕微鏡用探針の製造方法。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
