特許

J-GLOBAL ID：200903080772480465

モザイク状Coシリサイドターゲット材

発明者： 土方 研一 ,  原田 剛 ,  小岩 正幸
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-204754
公開番号（公開出願番号）：特開平8-067973
出願日： 1994年08月30日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：

【要約】【目的】 高純度でかつ組織が均一で、パーティクル発生の著しく少ないモザイク状Coシリサイドターゲット材を提供する。【構成】 モザイク状Coシリサイドターゲット材が、全体としてCoSin (ただし、nはモル比で1.8〜2.5)の組成式を満足し、かつCo-Si2元合金系状態図で示されるCoSi-CoSi2 共晶合金組成とCoSi2 -Si共晶合金組成との夫々の板状片を複数個組合せて一体化したものからなる。

請求項（抜粋）：

全体としてCoSin (ただし、nはモル比で1.8〜2.5)の組成式を満足し、かつCo-Si2元合金系状態図で示されるCoSi-CoSi2 共晶合金組成とCoSi2 -Si共晶合金組成との夫々の板状片を複数個組合せて一体化したことを特徴とするモザイク状Coシリサイドターゲット材。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/06