特許
J-GLOBAL ID：200903080783979267
SPM用探針の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-268758
公開番号（公開出願番号）：特開平6-114481
出願日： 1992年10月07日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：
【要約】【目的】 極めて尖鋭な探針を得る。【構成】 市販のAFM用カンチレバー探針の探針本体21の先端に、その軸心方向22と直角方向から電子ビーム23を真空中において照射し、探針本体21の先端に軸心方向に延長したカーボンの線状堆積体を作る(B)。その堆積体24に軸心方向から電子ビーム23を照射してカーボンを堆積して太らせる(C)。次に、径が0.4μmのイオンビームで堆積体24の端面を直径1μmの円形走査をして削って先端部を細くし(D)、その円形走査直径を0.5μmとして更に削って針状部とする(E)。
請求項（抜粋）：
真空中において探針基部の先端に、その突出方向とほぼ直角方向から電子ビームを照射して、上記先端にその突出方向に向かってカーボンを線状に堆積させ、その線状堆積体の先端面をイオンビームで円形走査して削って、先端部を針状に尖鋭化することを特徴とするSPM用探針の製造方法。
IPC (5件)：
B21G 1/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 9/14
, H01J 37/28
