特許

J-GLOBAL ID：200903080791014998

薄膜積層空燃比センサ

発明者： 近藤 春義 ,  高橋 英昭 ,  佐治 啓市 ,  竹内 正治 ,  颯田 耕三
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 萼 経夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-220630
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055765
出願日： 1993年08月12日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】 薄膜積層空燃比センサを提供する。【構成】 多孔質基板1上に第1電極2が形成され、その上に第1固体電解質3,第3電極4,第2固体電解質5,第4電極6が所定配置で順次積層され、前記各電極は多孔質でガス透過性を有する白金を用いて形成され、前記各固体電解質は緻密でガス透過性を有しない酸素イオン伝導性固体電解質であり:多孔質基板1上に第1電極2,第1固体電解質3,第3電極4によって構成された酸素濃淡電池式理論空燃比センサ部分と;第3電極4,第2固体電解質5,第4電極6によって構成された酸素ポンプセル部分とが一体的に形成されてなるセンサ素子を有する(実施例1)。【効果】 性能が良く且つ著しく小形化可能である。

請求項（抜粋）：

多孔質基板上に第1電極が形成され、第1電極の上に第1固体電解質及び第3電極が順次積層され、第1固体電解質は第1電極の周囲を含めて第1電極を覆い隠し、第3電極は第1固体電解質の周囲を含めて第1固体電解質を覆い隠し、更に第3電極の上に第2固体電解質及び第4電極が順次積層され、第2固体電解質及び第4電極は共に第3電極の周辺部が露出するように配置され、第1電極,第3電極及び第4電極は多孔質でガス透過性を有する白金を用いて形成され、第1固体電解質及び第2固体電解質は緻密でガス透過性を有しない酸素イオン伝導性の固体電解質を用いて形成されてなり、多孔質基板上に第1電極,第1固体電解質及び第3電極によって構成され、酸素濃淡電池式理論空燃比センサとして作動する部分と、第3電極,第2固体電解質及び第4電極によって構成され、酸素ポンプセルとして作動する部分とが一体的に形成されてなるセンサ素子を有することを特徴とする薄膜積層空燃比センサ。