特許
J-GLOBAL ID：200903080792048527
真空吸着用フィンガ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-040618
公開番号（公開出願番号）：特開平5-212691
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成で確実に空気流路を形成ししかも薄型化が図られる真空吸着用フィンガを提供する。【構成】 真空吸引用空気流路を構成するための溝4を有するフィンガ本体1と、該溝4を覆って空気流路を密封形成するための板材5と、該板材の外側面積より広い面積を有し該板材の外側からこれを覆って前記フィンガ本体1側に貼付され以て前記板材5をフィンガ本体1側に固定するためのシート材6とからなる真空吸着用フィンガ。
請求項（抜粋）：
真空吸引用空気流路を構成するための溝を有するフィンガ本体と、該溝を覆って空気流路を密封形成するための板材と、該板材の外側面積より広い面積を有し該板材の外側からこれを覆って前記フィンガ本体側に貼付され以て前記板材をフィンガ本体側に固定するためのシート材とからなることを特徴とする真空吸着用フィンガ。
IPC (4件)：
B25J 15/06
, B65H 3/08 350
, B65H 5/14
, H01L 21/68
