特許
J-GLOBAL ID：200903080794762022
分光光量可変装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大橋 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-002313
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201467
出願日： 1993年01月11日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：
【要約】【目的】 分光光量可変装置において、光源ランプの電圧或いはNDフィルター等を使用しないで光量を制御したい。【構成】 オプチカルチョッパー2とビームスプリッター5間に、2枚の円盤14、14aに逆向きの雲形切り抜き16、16aを形成し、この切り抜き16、16aの交点に形成される空間17で光量を制御すると共にビームスプリッター5で分割された光を検出器8で計測し、この値に基づいてモータ18(円盤14、14a)の回転数をCUP9で演算して制御することにより光量をフィードバック制御する。
請求項（抜粋）：
2枚の円盤において、同心円線上に徐々に小さくなる雲形の切り抜きを形成し、この切り抜きが反対方向を向くように重ね合わせて2枚の円盤を回転自在に軸支すると共に2枚の円盤をモータにより同一方向に回転させて前記切り抜きの交点に形成される空間の大きさを変更することにより、光量を制御できるように構成した光量可変器をオプチカルチョッパーとビームスプリッター間に配置し、ビームスプリッターで分割された光を光源制御用検出器で計測し、この計測値を基に前記2枚の円盤の回転量を演算してモータに信号を送り、この信号に基づいて2枚の円盤を回転させて光量をフィードバック制御する制御器を設けて成る分光光量可変装置。
IPC (3件)：
G01J 3/02
, G01J 1/04
, G01N 21/01
