特許

J-GLOBAL ID：200903080796447167

光走査装置及びその製造方法

発明者： 佐藤 幸人
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 鈴木 誠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-070306
公開番号（公開出願番号）：特開2002-267996
出願日： 2001年03月13日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：

【要約】【課題】 ミラー基板を静電力により往復振動させる光走査装置において、ミラー基板の湾曲を防止する。【解決手段】 ミラー基板101のミラー面が形成されない裏面に、応力調整層として圧縮応力を有する金属薄膜118が成膜される。金属薄膜118が成膜されない状態ではミラー基板は上に凸に湾曲するが、金属薄膜118を成膜した後は、その圧縮応力によりミラー基板は湾曲が抑えられ平坦になる。

請求項（抜粋）：

ミラー基板を、それを支持する梁をねじり回転軸として往復振動させる光走査装置であって、ミラー基板上に、ミラー基板の湾曲を抑えるための、内部応力を有する応力調整層が成膜されたことを特徴とする光走査装置。

IPC (7件)：

G02B 26/10 104 ,  G02B 26/10 103 ,  B41J 2/44 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G02B 5/08 ,  G02B 7/182

FI (8件)：

G02B 26/10 104 Z ,  G02B 26/10 103 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G02B 5/08 A ,  G02B 5/08 C ,  B41J 3/00 D ,  G02B 7/18 Z

Fターム (12件)：

2C362BA17 ,  2H042DA02 ,  2H042DA12 ,  2H042DA20 ,  2H042DC02 ,  2H042DE00 ,  2H043CA02 ,  2H043CA08 ,  2H043CD04 ,  2H043CE00 ,  2H045AB16 ,  2H045AB72