特許
J-GLOBAL ID：200903080800602075
プロ-バ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-002258
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200810
出願日： 1999年01月07日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】【課題】 大型の矩形の基板を取り扱う場合に、搬送ロボットにプリアライメント機構や基板認識装置を搭載して、プローバの占有面積を小さくする。また、昇降ステージを工夫してカセットのパスラインを低くし、さらに、ハンドの進退機構を工夫して進退ストロークを大きくする。【解決手段】 搬送ロボット上の基板認識センサ96でカセットの各棚のガラス基板の有無を確認する。回転台70を180度回転してから、ロード・ハンド88でカセット内のガラス基板を吸着する。その際、ロード・ハンド88上の2個のセンサでガラス基板のθズレを検出する。昇降ステージ74を下げてガラス基板を基板支持装置98に載せ、ガラス基板のプリアライメントを実施する。同時にID読取装置でガラス基板のID符号を読み取る。次に、搬送ロボットをワークステージに対向させて、ワークステージにガラス基板を受け渡し、ガラス基板を電気的に検査する。
請求項（抜粋）：
カセット内に水平に収納された矩形の基板を搬送ロボットを用いて取り出し、この基板を搬送ロボットでワークテーブル部に搬送し、ワークテーブル部において基板の電気的検査を実施するプローバにおいて、次の(イ)〜(ホ)の構成を有することを特徴とするプローバ。(イ)前記搬送ロボットは、上下方向に延びる軸の周りに回転可能な回転台と、この回転台上に固定された1対の支柱と、これらの支柱の間を昇降できる昇降ステージとを備えている。(ロ)前記昇降ステージは、前記カセット内に収納された基板の有無を検出するための基板認識装置を備えている。(ハ)前記昇降ステージは、少なくとも2重に組み合わされた直動式の進退機構を備えていて、この進退機構には、基板を保持できる2個のハンドが取り付けられている。(ニ)前記2個のハンドは上下2段に配置されていて、前記進退機構の全ストロークのうちの少なくとも一部分の領域において前記2個のハンドは互いに独立して進退できる。(ホ)前記搬送ロボットは、前記ハンドとこのハンドが保持する基板とを所定の相対位置関係に位置決めするためのプリアライメント機構を備えている。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 31/28
, H01L 21/68
H01L 21/66 B
, H01L 21/68 A
, G01R 31/28 K
2G032AA09
, 2G032AE01
, 2G032AE04
, 2G032AF04
, 2G032AK03
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106BA14
, 4M106DD30
, 9A001JJ45
, 9A001KZ54
