位相差検鏡用自動焦点検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-126766
公開番号（公開出願番号）：特開平8-320438
出願日： 1995年05月25日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】本発明は、位相差検鏡における被写体像の様に複数のサブピークを持つコントラスト特性を示す被写体像からも確実に合焦位置を検出可能で、装置を大型化せず、且つ合焦速度及び合焦精度の高い自動焦点検出装置を提供することを目的とする。【構成】本発明は、位相差検鏡用対物レンズ14を通過し、2分割され、光路差が異なり互いに予定焦点面に結像された共役な2つの被写体光像(前ピン像、後ピン像)から、入射光量と蓄積時間に基づくアナログ画像信号を出力するCCDセンサ18と、増幅及びフィルタ処理を行うアナログ処理部19と、デジタル化し被写体像のコントラスト値を算出する演算回路23と、コントラストの最大をとるステージ駆動信号を求めるCPU24と、駆動信号を受けてステージ10を駆動する駆動回路26とからなる自動焦点検出装置である。

請求項（抜粋）：

被写体を輪体照明する為の光源及びリングスリットと、上記被写体からの直接光と回折光との位相差を調整する位相差膜と、対物レンズと、上記対物レンズを通過した被写体からの光を所定の位置に結像させる結像光学系と、被写体と対物レンズを含む光学系との距離を調節する距離調節手段と、上記結像光学系における予定結像面に対して共役な前後の光像(前ピン像及び後ピン像)の画像信号を生成する画像生成手段と、上記画像信号処理手段からの画像信号から所定の周波数帯域を抽出する少なくとも1つのフィルタ手段と、上記フィルタ手段からの前ピン像、後ピン像の画像信号を所定の評価関数に基づいて両者のコントラスト値を求める第1の演算手段と、上記第1の演算手段からの前ピン像、後ピン像のコントラスト値のどちらか一方を選択し、所定の移動距離で上記距離調節手段を移動させ、該コントラスト値のピークを検出するピーク検出手段と、上記ピーク検出手段においてピークが検出された場合、上記フィルタ手段において設定した周波数帯域と上記対物レンズ、及び上記リングスリットの種類に応じて所定の移動距離を選択し、これに基づいて上記距離調節手段を移動させ、上記コントラスト値の最大ピークを検出する最大ピーク検出手段と、上記最大ピーク検出手段において最大ピークが検出された時、上記第1の演算手段からの前ピン像、後ピン像のコントラスト値から合焦評価値を算出する第2の演算手段と、上記第2の演算手段からの合焦評価値に基づいて、上記距離調節手段を移動させる合焦動作駆動手段と、を具備した事を特徴とする位相差検鏡用自動焦点検出装置。

IPC (3件)：

G02B 21/00 , G02B 7/28 , G03B 13/36

FI (3件)：

G02B 21/00 , G02B 7/11 J , G03B 3/00 A

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