特許

J-GLOBAL ID：200903080805022174

紫外線照射装置

発明者： 徳村 勝也
出願人/特許権者： 株式会社テクノ・プレックス
代理人 (1件)： 加藤 雄二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-346767
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148396
出願日： 2000年11月14日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】【解決手段】 紫外線照射ランプ1は、ケース2の内部に収納され、その直下に、ワーク3が配置されている。ワーク3はクリーニング処理の対象物である。紫外線照射ランプ1とワーク3との間には、紫外線導入セル4を配置し、内部には窒素が封入されている。その入射壁5は、紫外線照射ランプ1の形状にほぼ一致する凹凸面を形成し、出射壁6は、対象物であるワーク3の紫外線被照射面に沿う凹凸面を有する。【効果】 紫外線が、紫外線導入セル4を出射してワーク3の被照射面に達するまでの距離がどの部分でもほぼ等しく、照射される紫外線のエネルギーがほぼ均一になる。

請求項（抜粋）：

紫外線照射ランプと、上記紫外線照射ランプの発する紫外線の照射を受けて処理される対象物を配置する照射部と、上記紫外線照射ランプの発光面に沿う凹凸面を有する入射壁を紫外線照射ランプに対向配置し、上記対象物の被照射面側に出射壁を対向配置して、上記入射壁と出射壁とに包囲された空間に不活性ガスを封入して、上記紫外線照射ランプと照射部との間に配置した、紫外線導入セルを備えたことを特徴とする紫外線照射装置。

IPC (3件)：

G21K 5/00 ,  H01L 21/26 ,  H01L 21/304 645

FI (6件)：

G21K 5/00 Z ,  G21K 5/00 B ,  G21K 5/00 W ,  H01L 21/304 645 D ,  H01L 21/26 G ,  H01L 21/26 J