エバネセント波の透過現象を利用する屈折率測定法およびその測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村純之助 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-321753
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146836
出願日： 1998年11月12日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】サンプルの厚さデータを用いずに、また実測したデータを用いる複雑な計算処理を要さずに、薄膜状態の物質の屈折率を測定することが可能なエバネセント波の透過現象を利用する屈折率測定法およびその測定装置を提供する。【解決手段】屈折率が既知の物質Aの平坦な面に、物質Aよりも低屈折率の物質Bを密着し、物質Bは、物質A側から入射した測定光1が物質Bとの界面2で全反射するときに生ずるエバネセント波3の滲み出し距離Dよりも小さな膜厚を有する屈折率と膜厚が既知の薄膜とし、物質B上に屈折率を求めたいサンプル(物質C)を密着させ、物質Aと物質Bとの界面で測定光1を全反射させてエバネセント波3を発生させ、エバネセント波3のうち、物質Bを越えて物質C中に滲み出して透過光4に変化したエバネセント波の大きさを求めて物質Cの屈折率を求める。

請求項（抜粋）：

測定光を透過する屈折率が既知の第1の物質の平坦な面に、前記測定光を透過し前記第1の物質よりも低屈折率の第2の物質からなり前記第1の物質側から入射した前記測定光が前記第2の物質との界面で全反射するときに生ずるエバネセント波の滲み出し距離よりも小さな膜厚を有する屈折率と膜厚が既知の薄膜を密着させ、該薄膜上に屈折率を求めたい試料を密着させ、前記第1の物質と前記薄膜との界面で測定光を全反射させてエバネセント波を発生させ、前記エバネセント波のうち、前記薄膜を越えて前記試料中に滲み出して透過光に変化したエバネセント波の大きさを求めて前記試料の屈折率を求めることを特徴とするエバネセント波の透過現象を利用する屈折率測定法。

IPC (3件)：

G01N 21/41 , G01N 21/27 , G01N 21/35

FI (3件)：

G01N 21/41 Z , G01N 21/27 C , G01N 21/35 Z

Fターム (10件)：

2G059AA02 , 2G059BB16 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE04 , 2G059HH01 , 2G059JJ01 , 2G059JJ12 , 2G059KK01 , 2G059MM12

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