光検出器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-157560
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005045
出願日： 1995年06月23日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】微小光学素子を用いて多点の情報を同時に検出可能な光検出器を提供する。【構成】レーザ光源31から発散された光が第1のマイクロフレネルレンズアレイ21によって平行光にされ、第2のマイクロフレネルレンズアレイ22によって集光されて検査対象物25に照射される。検査対象物25で反射されたレーザ光は第2のマイクロフレネルレンズアレイ22で平行光に戻され、ハーフミラー32で反射され、第3のマイクロフレネルレンズアレイ23によって複数の受光素子33に集束される。

請求項（抜粋）：

点光源からの各光を平行ビーム光に整形する第1のレンズアレイ、前記第1のレンズアレイに対して一定の間隔を隔てて配置され、該第1のレンズアレイで整形された平行ビーム光を検査対象物に集光して照射するための第2のレンズアレイ、前記第1のレンズアレイと前記第2のレンズアレイとの間に一定の角度を有して配置されるハーフミラー、前記検査対象物によって反射されて前記第2のレンズアレイを通過し、前記ハーフミラーで反射された光を集光する第3のレンズアレイ、および前記第3のレンズアレイによって集光された光を検知する複数の受光素子を備えた、光検出器。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G02B 21/00 , G02B 21/06

FI (3件)：

G01B 11/24 C , G02B 21/00 , G02B 21/06

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