特許

J-GLOBAL ID：200903080813346710

光誘起蒸着重合法

発明者： 玉田 正男 ,  大道 英樹
出願人/特許権者： 日本原子力研究所
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-177700
公開番号（公開出願番号）：特開平9-031115
出願日： 1995年07月13日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：

【要約】【課題】 ビニルモノマーを用いて、有機EL素子や高分子液晶素子に適した、高分子量、高純度の薄膜の作成が安定して可能となる、光誘起蒸着重合法を提供することを目的とする。【解決手段】 蒸発容器から蒸発させたビニルモノマーに、10-5〜10-2Paの真空条件において、紫外線またはレーザー光を照射することにより、基板上に有機高分子薄膜を作成する光誘起蒸着重合法の構成手段とする。

請求項（抜粋）：

蒸発容器から蒸発させたビニルモノマーに、10-5〜10-2Paの真空条件において、紫外線またはレーザー光を照射することにより、基板上に有機高分子薄膜を作成することを特徴とする光誘起蒸着重合法。

IPC (3件)：

C08F 2/48 MDH ,  C08F 2/48 MCT ,  C23C 14/28

FI (3件)：

C08F 2/48 MDH ,  C08F 2/48 MCT ,  C23C 14/28