円板形ワークの外周研磨方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-173250
公開番号（公開出願番号）：特開平8-019946
出願日： 1994年07月01日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】研磨部材をワークの外周に円弧で線接触させることにより、該ワーク外周を短時間で効率良く確実に研磨する。【構成】円板形のワーク1をチャック手段2に保持させて軸線の回りに回転させながら、円弧状の作業面19を備えた複数の研磨部材3,3を重錘46による付勢力で該ワーク1の外周に同時に当接させ、これらの研磨部材3,3でワーク外周を鏡面研磨する。

請求項（抜粋）：

円板形のワークをチャック手段に保持させて軸線の回りに回転させる工程:円弧状の作業面を備えた複数の研磨部材の上記作業面を、上記チャック手段に保持されたワークの外周に所要の力で同時に当接させることにより、これらの研磨部材でワーク外周を研磨する工程:を有することを特徴とする円板形ワークの外周研磨方法。

引用特許：

審査官引用 (1件)

ウェーハ外周部の研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-325903 出願人：信越半導体株式会社, 不二越機械工業株式会社

前のページに戻る