インクジェットヘッド用ノズルプレートおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島道男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-314135
公開番号（公開出願番号）：特開平10-138496
出願日： 1996年11月12日
公開日（公表日）： 1998年05月26日
要約：

【要約】【課題】耐磨耗性、耐熱性、耐薬品性、熱伝導性に優れた性能を有するインクジェットヘッド用ノズルプレートおよびその製造方法を提供する。【解決手段】液状又は粒状の熱硬化性樹脂製樹脂を予め焼成時の寸法収縮を見込んだ寸法で成形し、得られた成形物を必要に応じてプレキュアした後、真空又は不活性雰囲気下で焼成することによりガラス状カーボン化させ、エキシマレーザーなどによりインク噴射孔を形成する。

請求項（抜粋）：

インク噴射孔から記録媒体にインク液滴を噴射するインクジェットヘッドに用いるノズルプレートがガラス状カーボンからなることを特徴とするインクジェットヘッド用ノズルプレート。

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