ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-324406
公開番号（公開出願番号）：特開2001-142208
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 i線に対して高感度、高残膜率で、更に現像後にスカムの発生がないパターンが得ることができるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】一般式(1)で示されるフェノール化合物1モルに1、2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸クロライドを仕込みで2.7〜3.0モルを反応させたジアゾキノン誘導体と一般式(2)で示されるポリアミド100重量部とそのジアゾキノン誘導体1〜100重量部からなるポジ型感光性樹脂組成物に関するものである。【化17】【化18】

請求項（抜粋）：

一般式(1)で示されるフェノール化合物1モルに1、2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸クロライドを仕込みで2.7〜3.0モルを反応させたジアゾキノン誘導体1〜100重量部と一般式(2)で示されるポリアミド100重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】

IPC (4件)：

G03F 7/027 514 , C08L 77/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/037

FI (4件)：

G03F 7/027 514 , C08L 77/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/037

Fターム (14件)：

2H025AA01 , 2H025AA04 , 2H025AA08 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB24 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J002CL071 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J002GQ05

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開平3-048249

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