走査型電子顕微鏡を用いた検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：小松祐治 (外1名) , 小松祐治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-011286
公開番号（公開出願番号）：特開2003-217500
出願日： 2002年01月21日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：

【要約】【課題】走査型電子顕微鏡を用いた検査装置において、被検物の大きさに限定されることなく、非破壊で被検物の任意部分の検査及び測定を行なうことができるようにする。【解決手段】走査型電子顕微鏡6aを使用し、非破壊で被検物の任意部分の検査や測定を行なう走査型電子顕微鏡を用いた検査機1において、被検物の検査対象部分の周囲を外気から遮断して局所的な真空領域を形成する局所真空形成部9を備え、局所真空形成部が局所的な真空領域を形成するための排気を行なう排気手段15と、圧縮気体を局所真空形成部の外縁部分に噴出することによって局所真空形成部全体を被検物から浮上させる浮上手段14と、浮上手段による局所真空形成部の浮上を制御するために被検物と局所真空形成部との間の間隔を測定する測長手段16とを有するようにした。

請求項（抜粋）：

走査型電子顕微鏡を有し、該走査型電子顕微鏡から出射された電子ビームを被検物の検査対象部分に照射することによって、被検物の大きさに限定されることなく、非破壊で被検物の任意部分の検査や測定を行なう走査型電子顕微鏡を用いた検査装置であって、上記被検物の検査対象部分の周囲を外気から遮断して局所的な真空領域を形成する局所真空形成部を備え、上記局所真空形成部は、局所的な真空領域を形成するための排気を行なう排気手段と、圧縮気体を局所真空形成部の外縁部分に噴出することによって局所真空形成部全体を被検物から浮上させる浮上手段と、該浮上手段による局所真空形成部の浮上を制御するために被検物と局所真空形成部との間の間隔を測定する測長手段とを有することを特徴とする走査型電子顕微鏡を用いた検査装置。

IPC (4件)：

H01J 37/28 , G01N 23/225 , H01J 37/18 , H01J 37/20

FI (4件)：

H01J 37/28 B , G01N 23/225 , H01J 37/18 , H01J 37/20 D

Fターム (21件)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001HA13 , 2G001JA09 , 2G001JA14 , 2G001JA20 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA07 , 2G001PA11 , 5C001AA01 , 5C001AA03 , 5C001AA04 , 5C001CC04 , 5C033KK03 , 5C033UU03 , 5C033UU04

引用特許：

審査官引用 (3件)

電子ビーム照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-057374 出願人：ソニー株式会社
特開昭59-093249
試料の高さ計測手段を備えた電子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-243003 出願人：株式会社日立製作所

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